Der Herstellungsprozess von Siliziumkarbidheizelementen enthält im Allgemeinen die folgenden wichtigen Schritte:
1. Rohstoffverarbeitung
Zunächst wählen wir hochpurige Silizium-Carbid-Pulver, das normalerweise mehr als 97% rein ist, um sicherzustellen, dass nur wenige Verunreinigungen zur Gewährleistung der Komponentenleistung bestehen. Nach bestimmten Bedürfnissen wählen wir Pulver mit geeigneter Partikelgrößenverteilung wie feinkörnigem Pulver aus, um die Komponentendichte zu verbessern.
Manchmal wird eine kleine Menge Fluss wie Bor- und Aluminiumverbindungen hinzugefügt, um die Sintertemperatur zu verringern, den Sinterprozess zu fördern und die mechanische Festigkeit und Leitfähigkeit der Komponente zu verbessern.
2. Formprozess
Extrusionsformung: Die gemischten Rohstoffe werden vollständig mit einer geeigneten Menge an Bindemittel und Schmiermittel gemischt, um einen Billet zu bilden, der in einem Extruder platziert und durch einen Würfel in die gewünschte Form wie Stäbe, Röhrchen usw. extrudiert wird. Es ist für die Produktion von langgroßen und regelmäßigen Komponenten geeignet.
Trockener Drücken: Geben Sie das Rohstoffpulver in die Form und formen Sie es unter einem bestimmten Druck. Diese Methode eignet sich für die Herstellung von Komponenten mit einfachen Formen und großen Größen. Die Größe und Dichte der Komponenten kann durch Einstellen des Drucks und der Schimmelform gesteuert werden.
3. Sinternbehandlung
Der grüne Körper wird zum Sintern in einen Hochtemperaturofen gelegt. Die unter Druck stehende Sintertemperatur liegt im Allgemeinen zwischen 1900 und 2100 Grad, was eine starke Bindung zwischen den Siliziumcarbidpartikeln bilden und die Dichte und Leistung verbessern kann.
Für einige Komponenten mit hohen Leistungsanforderungen wird heißes Sintern oder Atmosphärendruck verwendet. Das Sintern unter angewendetem Druck oder in einer bestimmten Atmosphäre kann die Dichte, die mechanischen Eigenschaften und die Leitfähigkeit der Komponenten weiter verbessern.
4. Verarbeitung und Test
Die gesinterten Komponenten sind mechanischer Verarbeitung unterzogen, wie z. B. Schneiden und Schleifen, um sicherzustellen, dass ihre dimensionale Genauigkeit und Oberflächenrauheit den Nutzungsanforderungen entspricht.
Schließlich werden der Widerstandswert, das Aussehen, die mechanische Festigkeit, die Hochtemperaturwiderstand usw. umfassend unter Verwendung von Testausrüstung getestet, um sicherzustellen, dass die Produkte die Qualitätsstandards entsprechen.
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